產品型號
真空機器人(真空模組)   VC60   VC90   VC120  
 

特點

* 環境溫度從 -196℃ (-320.8℉) to +200℃ (+392℉)
* 真空度 10-7Pa (10-9mbar)

產品主要

* 真空室
* 高溫室
* 高潔凈度環境





選型編碼

VC
60
50
2
M0
SHT
L2
型號
主體寬度
行程
導程
電機接口
等級
傳感器數量
 
 
 
2
M0 (標準接口)
M1 (定制)
見下表
 
 
 
50
3
 
 
60
100
4
L1
 
90
150
6
L2
 
120
...
8
L3
 
 
800
25
 
 
 
 
35
 

* 在 50~800mm行程內都可以定制

等級

等級代碼
溫度等級
℃ (℉)
真空度
Pa (mbar)
NT-L1
-20~+85
(-4~+185)
-
NT-L2
-40~+85
(-40~+185)
-
NT-L3
-60~+85
(-76~+185)
10^1 (10^3)
HT
-20~+150
(-4~+302)
10^3 (10^5)
SHT
-20~+200
(-4~+392)
10^7 (10^9)
LT
-100~+40
(-148~+104)
10^7 (10^9)
SLT
-196~+40
(-320.8~104)
10^7 (10^9)
L* H*
定制
定制

* 定制的L(低)和H(高)溫度來自 -196℃ (-320.8℉) to +300℃ (+572℉)。
 
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